Revolutionäres Steuersystem erreicht Subnanometer-Präzision und gewinnt Silbermedaille
Maximilian Schönland
Revolutionäres Steuersystem erreicht Subnanometer-Präzision und gewinnt Silbermedaille
Bahnbrechendes Steuersystem für ultrapräzise Maschinen mit Silbermedaille bei den Thüringer Innovationspreisen ausgezeichnet
Ein revolutionäres Regelungssystem für hochpräzise Maschinen hat eine Silbermedaille bei den Thüringer Innovationspreisen gewonnen. Die vom Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme (IMMS) entwickelte Technologie erreicht eine Genauigkeit im Subnanometerbereich – und übertrifft damit aktuelle Branchenstandards bei Weitem. Ihre Anwendungsmöglichkeiten reichen von der Nanofabrikation über medizinische Durchbrüche bis hin zur Hochpräzisionsoptik.
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Die Innovation mit dem Titel "Positionierungssystem mit Regler und Verfahren zu dessen Konfiguration" stammt von Alex Huaman. Sein Entwurf konzentriert sich auf hochdynamische, mehrkoordinierte Direktantriebssysteme. Ein zentrales Merkmal ist der Störgrößenbeobachter, der störende Kräfte und Momente in Echtzeit erfasst und so sofortige Korrekturen ermöglicht.
Das System verfügt über einen verbesserten dynamischen Beobachter, der Störungen aktiv ausgleicht und selbst bei schnellen Bewegungen für höchste Präzision sorgt. Tests auf einer 6D-Nanometer-Planarpositionierplattform bestätigten, dass die Technologie ihre Genauigkeit auch über große Bewegungsbereiche hinweg beibehält. Diese Steuerungsqualität kommt dem wachsenden Bedarf an Maschinen entgegen, die Strukturen mit nanometergenauer Präzision vermessen und bearbeiten können.
Die PATON-Wissenschaftsorganisation reichte das Patent für den iENA-Wettbewerb in Nürnberg ein. Dank ihrer Vielseitigkeit könnte die Technologie bald Branchen revolutionieren, die extreme Präzision erfordern – von der Halbleiterfertigung bis zur fortgeschrittenen Medizindiagnostik.
Die IMMS-Erfindung wurde bereits mit einem regionalen Innovationspreis ausgezeichnet. Durch ihre Echtzeit-Störgrößenkompensation und Subnanometer-Präzision setzt sie neue Maßstäbe in der Hochpräzisionstechnik. Unternehmen, die auf nanometergenaue Fertigung angewiesen sind, könnten das System bald für schnellere und zuverlässigere Prozesse einsetzen.
